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辛骅1,杜启帆1,白伟1,韩玉冰2,王佳2,刘红宇2,殷浩华2,陆大春2 *
本文报告了一种基于磁控溅射、气体冷凝、离子光学和质量选择组合的桌面级纳米团簇制备源,该源能够精确控制纳米团簇的原子数。磁控溅射技术用于气化靶材,可适用于周期表中的65种以上元素,同时也兼容合金和化合物。..
Physical Sience and Technical Research. 2024 Vol. 4(1) : 17-23. 2024-06-28
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